超声波清洗机-清洗机-巴克超声波

该清洗机主要由输送装置、清洗腔体、储液箱（除油过滤系统）、喷淋系统、自动温控加热系统、风切吹水系统、排风装置、控制系统、机架、自动下料等组成。具体结构见附图和以下的说明。设备的配电设施是独立的电控柜。

1. 清洗成本低：可使用普通水或酒精加少许溶剂作为清洗剂，清洗机，省去一定人工成本；

2. 性：采用换能器清洗效果好，超声波功率---，；

3. 批量连续性：超声波清洗设备可长时间连续工作，适应批量生产；

4. 节能：整个清洗工序为自动超声模式，杂志均沉淀于于清洗液体中，无粉尘污染无噪音；

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越---，对实际制造的几个环节也提出了新要求，超声波清洗机，清洗环节的重要性日益---。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，改性醇清洗机，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。